Effect of dopants on chemical mechanical polishing of silicon

Publicerad 2002 av Markus Forsberg (född 1974)

Teknik Och Teknologier Engineering And Technology
Författare:
Typ av publikation: Artiklar
Typ av innehåll: Refereegranskad publ.

ISBN:N/A
Ingår i:
Microelectronic Engineering - Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, Lugano, Switzerland, 16–19 September 2002

Published by: Uppsala universitet, ISSN:0167-9317,

Abstract